Логотип Мои-Закупки
Войти
Регистрация
Подобрать КТРУ и ОКПД-2

КТРУ Спектральный эллипсометр
26.60.12.122-00000070

Включено в КТРУ
Использование дополнительных характеристик: Запрещено
Неукрупненное

Характеристики КТРУ 26.60.12.122-00000070

  • Наименование характеристики Максимальное значение диапазона длин волн, нм

    Значения
    < 500
    ≥ 500
    ≥ 1000
    ≥ 2000

  • Наименование характеристики Минимальное значение диапазона длин волн, нм

    Значения
    ≤ 100
    ≤ 200
    ≤ 300
    ≤ 600

  • Наименование характеристики Воспроизводимость, град

    Значения
    ≤ ± 0,01
    ≤ ± 0,02

  • Наименование характеристики Время измерения на одной длине волны

    Значения
    ≤ 10
    > 10
    ≤ 1.5
    ≤ 3
    ≤ 5

  • Наименование характеристики Диаметр светового луча

    Значения
    ≤ 1.5
    ≤ 3

  • Наименование характеристики Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм

    Значения
    100
    200

  • Наименование характеристики Интервал падения светового луча (шаг), град

    Значения
    ≤ 2.5
    ≤ 5

  • Наименование характеристики Максимальная толщина, мкм

    Значения
    ≥ 5
    < 5
    ≥ 15

  • Наименование характеристики Максимальный угол падения светового луча, град

    Значения
    < 70
    ≥ 70
    ≥ 90

  • Наименование характеристики Минимальная толщина, нм

    Значения
    ≤ 0.1
    ≤ 0.5
    > 0.5

  • Наименование характеристики Минимальный угол падения светового луча, рад

    Значения
    ≤ 45
    ≤ 60

  • Наименование характеристики Спектральное разрешение, нм

    Значения
    3
    < 3

  • Наименование характеристики Точность по показателю преломления, град

    Значения
    ≤ 0.001
    ≤ 0.005

  • Наименование характеристики Точность по толщине, нм

    Значения
    ≤ 0.01
    ≤ 0.1