Характеристики КТРУ Спектральный эллипсометр
Обязательные характеристики КТРУ | |
| Максимальное значение диапазона длин волн, нм | < 500 ≥ 500 ≥ 1000 ≥ 2000 |
| Минимальное значение диапазона длин волн, нм | ≤ 100 ≤ 200 ≤ 300 ≤ 600 |
Необязательные характеристики КТРУ | |
| Воспроизводимость, град | ≤ ± 0,01 ≤ ± 0,02 |
| Время измерения на одной длине волны, с | ≤ 10 > 10 ≤ 1.5 ≤ 3 ≤ 5 |
| Диаметр светового луча, Миллиметр | ≤ 1.5 ≤ 3 |
| Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм | 100 200 |
| Интервал падения светового луча (шаг), град | ≤ 2.5 ≤ 5 |
| Максимальная толщина, мкм | ≥ 5 < 5 ≥ 15 |
| Максимальный угол падения светового луча, град | < 70 ≥ 70 ≥ 90 |
| Минимальная толщина, нм | ≤ 0.1 ≤ 0.5 > 0.5 |
| Минимальный угол падения светового луча, рад | ≤ 45 ≤ 60 |
| Спектральное разрешение, нм | 3 < 3 |
| Точность по показателю преломления, град | ≤ 0.001 ≤ 0.005 |
| Точность по толщине, нм | ≤ 0.01 ≤ 0.1 |