Подобрать КТРУ и ОКПД-2

КТРУ 26.60.12.122-00000069
Спектральный эллипсометр

Включено в КТРУ

Ограничения:

126н п.1,
126н п.2,
878,
471-р,
2013 (223-ФЗ),
2014,
1316-р,
2571,
616 (223ФЗ),
1042
По данному КТРУ закупают:
Эллипсометр
Оптический эллипсометр
Измерительный прибор для изучения фотоэлектрических свойств материалов
Устройство для измерения углов падения света
Оптический анализатор пленки
Прибор для анализа покрытий
Измерительный прибор для определения толщины пленки
Использование дополнительных характеристик: Разрешено
Неукрупненное

Характеристики КТРУ 26.60.12.122-00000069

  • Наименование характеристики Минимальное значение диапазона длин волн, нм

    Значения
    ≤ 100
    ≤ 200
    ≤ 300
    ≤ 600
  • Наименование характеристики Максимальное значение диапазона длин волн, нм

    Значения
    < 500
    ≥ 500
    ≥ 1000
    ≥ 2000
  • Наименование характеристики Спектральное разрешение, нм

    Значения
    < 3
    3
  • Наименование характеристики Воспроизводимость, град

    Значения
    ≤ ± 0,01
    ≤ ± 0,02
  • Наименование характеристики Точность по толщине, нм

    Значения
    ≤ 0.01
    ≤ 0.1
  • Наименование характеристики Точность по показателю преломления, град

    Значения
    ≤ 0.001
    ≤ 0.005
  • Наименование характеристики Максимальный угол падения светового луча, град

    Значения
    < 70
    ≥ 70
    ≥ 90
  • Наименование характеристики Минимальный угол падения светового луча, рад

    Значения
    ≤ 45
    ≤ 60
  • Наименование характеристики Интервал падения светового луча (шаг), град

    Значения
    ≤ 2.5
    ≤ 5
  • Наименование характеристики Максимальная толщина, мкм

    Значения
    < 5
    ≥ 5
    ≥ 15
  • Наименование характеристики Минимальная толщина, нм

    Значения
    ≤ 0.1
    ≤ 0.5
    > 0.5
  • Наименование характеристики Диаметр светового луча

    Значения
    ≤ 1.5
    ≤ 3
  • Наименование характеристики Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм

    Значения
    100
    200
  • Наименование характеристики Время измерения на одной длине волны

    Значения
    ≤ 1.5
    ≤ 3
    ≤ 5
    ≤ 10
    > 10