КТРУ Спектральный эллипсометр
26.60.12.122-00000069
Характеристики КТРУ 26.60.12.122-00000069
Наименование характеристики Максимальное значение диапазона длин волн, нм
Значения< 500≥ 500≥ 1000≥ 2000Наименование характеристики Минимальное значение диапазона длин волн, нм
Значения≤ 100≤ 200≤ 300≤ 600Наименование характеристики Воспроизводимость, град
Значения≤ ± 0,01≤ ± 0,02Наименование характеристики Время измерения на одной длине волны
Значения≤ 10> 10≤ 1.5≤ 3≤ 5Наименование характеристики Диаметр светового луча
Значения≤ 1.5≤ 3Наименование характеристики Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм
Значения100200Наименование характеристики Интервал падения светового луча (шаг), град
Значения≤ 2.5≤ 5Наименование характеристики Максимальная толщина, мкм
Значения≥ 5< 5≥ 15Наименование характеристики Максимальный угол падения светового луча, град
Значения< 70≥ 70≥ 90Наименование характеристики Минимальная толщина, нм
Значения≤ 0.1≤ 0.5> 0.5Наименование характеристики Минимальный угол падения светового луча, рад
Значения≤ 45≤ 60Наименование характеристики Спектральное разрешение, нм
Значения3< 3Наименование характеристики Точность по показателю преломления, град
Значения≤ 0.001≤ 0.005Наименование характеристики Точность по толщине, нм
Значения≤ 0.01≤ 0.1