Структура КТРУ 26.60.12.122-00000070
Спектральный эллипсометр
Включено в КТРУ
Ограничения:
126н п.1,
126н п.2,
878,
471-р,
2013 (223-ФЗ),
2014,
1316-р,
2571,
616 (223ФЗ),
1042
Эллипсометр
Оптический эллипсометр
Измерительный прибор для изучения фотоэлектрических свойств материалов
Устройство для измерения углов падения света
Оптический анализатор пленки
Прибор для анализа покрытий
Измерительный прибор для определения толщины пленки
Использование дополнительных характеристик: Разрешено
Укрупненное