Характеристики КТРУ
Обязательные характеристики
Наименование характеристики Режим сканирования
ЗначенияБезконтактныйПолуконтактныйНеобязательные характеристики
Наименование характеристики Вес образца
Значения< 10≥ 10≥ 50≥ 250≥ 500≥ 1000Наименование характеристики Длина образца
Значения< 10≥ 10≥ 20≥ 30≥ 60≥ 90≥ 150≥ 200Наименование характеристики Ширина образца
Значения< 10≥ 10≥ 20≥ 30≥ 60≥ 90≥ 150≥ 200Наименование характеристики Толщина образца
Значения< 3≥ 3≥ 10≥ 20≥ 40Наименование характеристики Диапазон сканирования XY, мкм
Значения10 × 1015 × 1525 × 2550 × 50100 × 10090 × 90Наименование характеристики Диапазон сканирования Z, мкм
Значения81215253010