Характеристики КТРУ 26.51.61.110-00000017
Наименование характеристики Режим сканирования
ЗначенияБезконтактныйПолуконтактныйНаименование характеристики Вес образца
Значения≥ 10 и < 50< 10≥ 50 и < 250≥ 250 и < 500≥ 500 и < 1000≥ 1000Наименование характеристики Длина образца
Значения≥ 10 и < 20< 10≥ 20 и < 30≥ 30 и < 60≥ 60 и < 90≥ 90 и < 150≥ 150 и < 200≥ 200Наименование характеристики Ширина образца
Значения≥ 10 и < 20< 10≥ 20 и < 30≥ 30 и < 60≥ 60 и < 90≥ 90 и < 150≥ 150 и < 200≥ 200Наименование характеристики Толщина образца
Значения≥ 3 и < 10< 3≥ 10 и < 20≥ 20 и < 40≥ 40Наименование характеристики Диапазон сканирования XY, мкм
Значения90 × 9010 × 1015 × 1525 × 2550 × 50100 × 100Наименование характеристики Диапазон сканирования Z, мкм
Значения81012152530