Характеристики КТРУ
Обязательные характеристики
Наименование характеристики Режим сканирования
ЗначенияБезконтактныйПолуконтактныйНеобязательные характеристики
Наименование характеристики Вес образца
Значения< 10≥ 10 и ≤ 50≥ 50 и ≤ 250≥ 250 и ≤ 500> 500Наименование характеристики Длина образца
Значения< 10≥ 10 и ≤ 20≥ 20 и ≤ 30> 30Наименование характеристики Ширина образца
Значения< 10≥ 10 и ≤ 20≥ 20 и ≤ 30> 30Наименование характеристики Толщина образца
Значения< 3≥ 3 и ≤ 10> 10Наименование характеристики Диапазон сканирования XY, мкм
Значения10 × 1015 × 1525 × 2550 × 50100 × 100Наименование характеристики Диапазон сканирования Z, мкм
Значения812152530