Логотип Мои-Закупки
Войти
Регистрация
Подобрать КТРУ и ОКПД-2

История изменений КТРУ Спектральный эллипсометр
26.60.12.122-00000069

Включено в КТРУ

Ограничения:

126н п.1,
126н п.2,
878,
471-р,
2013 (223-ФЗ),
2014,
1316-р,
2571,
616 (223ФЗ),
1042
По данному КТРУ закупают:
Эллипсометр
Оптический эллипсометр
Измерительный прибор для изучения фотоэлектрических свойств материалов
Устройство для измерения углов падения света
Оптический анализатор пленки
Прибор для анализа покрытий
Измерительный прибор для определения толщины пленки
Использование дополнительных характеристик: Разрешено
Неукрупненное

Сравнение характеристик 26.60.12.122-00000069

В новой версии отличий нет
Показать отличающиеся
Название характеристик
Версия №2 от 23.02.2024
Версия №1 от 07.02.2021
Минимальное значение диапазона длин волн, нм

Обязательная характеристика

≤ 100, ≤ 200, ≤ 300, ≤ 600

≤ 100, ≤ 200, ≤ 300, ≤ 600

Максимальное значение диапазона длин волн, нм

Обязательная характеристика

< 500, ≥ 500, ≥ 1000, ≥ 2000

< 500, ≥ 500, ≥ 1000, ≥ 2000

Точность по толщине, нм

≤ 0.01, ≤ 0.1

≤ 0.01, ≤ 0.1

Точность по показателю преломления, град

≤ 0.001, ≤ 0.005

≤ 0.001, ≤ 0.005

Спектральное разрешение, нм

< 3, 3

< 3, 3

Минимальный угол падения светового луча, рад

≤ 45, ≤ 60

≤ 45, ≤ 60

Минимальная толщина, нм

≤ 0.1, ≤ 0.5, > 0.5

≤ 0.1, ≤ 0.5, > 0.5

Максимальный угол падения светового луча, град

< 70, ≥ 70, ≥ 90

< 70, ≥ 70, ≥ 90

Максимальная толщина, мкм

< 5, ≥ 5, ≥ 15

< 5, ≥ 5, ≥ 15

Интервал падения светового луча (шаг), град

≤ 2.5, ≤ 5

≤ 2.5, ≤ 5

Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм

200, 100

200, 100

Диаметр светового луча

≤ 1.5, ≤ 3

≤ 1.5, ≤ 3

Время измерения на одной длине волны

≤ 1.5, ≤ 3, ≤ 5, ≤ 10, > 10

≤ 1.5, ≤ 3, ≤ 5, ≤ 10, > 10

Воспроизводимость, град

≤ ± 0,01, ≤ ± 0,02

≤ ± 0,01, ≤ ± 0,02

Все версии КТРУ 26.60.12.122-00000069: Спектральный эллипсометр

  • Номер КТРУ 26.60.12.122-00000069

    Номер версии2

    Дата применения23.02.2024

    СтатусВключено в КТРУ

    Кол-во характеристик14

  • Номер КТРУ 26.60.12.122-00000069

    Номер версии1

    Дата применения07.02.2021

    СтатусНедействительно

    Кол-во характеристик14