Характеристики КТРУ 26.51.53.149-00000001
Наименование характеристики Количество портов ввода газов
Значения< 556> 6Наименование характеристики Количество рабочих станций
Значения12> 2Наименование характеристики Охлаждаемая ловушка
ЗначенияДаНетНаименование характеристики Баспайный кран измерительной ампулы
ЗначенияДаНетНаименование характеристики Рабочие газы
ЗначенияГелийАзотКислородВодородОксид углеродаУглекислотаАммиак