Характеристики КТРУ
Обязательные характеристики
Наименование характеристики Максимальная толщина срезов, мкм
Значения≥ 25 и ≤ 60≥ 99 и ≤ 100≥ 200 и ≤ 600Наименование характеристики Минимальная толщина срезов, мкм
Значения≤ 1≥ 0.25 и ≤ 3≤ 0.25Наименование характеристики Горизонтальная подача образца, мкм
Значения≥ 24 и ≤ 35≥ 24 и ≤ 30≥ 20 и ≤ 28Наименование характеристики Вертикальная подача образца
Значения≥ 52 и ≤ 70≥ 52 и ≤ 72≥ 64 и ≤ 70Наименование характеристики Режим тримминга
ЗначенияДаНетНаименование характеристики Функция ретракции
ЗначенияДаНет