Характеристики КТРУ
Обязательные характеристики КТРУ
Наименование характеристики Режим сканирования
ЗначенияБезконтактныйПолуконтактныйНеобязательные характеристики КТРУ
Наименование характеристики Вес образца
Значения1050250500100010Наименование характеристики Длина образца
Значения102030609015020010Наименование характеристики Ширина образца
Значения102030609015020010Наименование характеристики Толщина образца
Значения31020403Наименование характеристики Диапазон сканирования XY, мкм
Значения90 × 9010 × 1015 × 1525 × 2550 × 50100 × 100Наименование характеристики Диапазон сканирования Z, мкм
Значения10812152530