Характеристики КТРУ
Обязательные характеристики
Наименование характеристики Режим сканирования
ЗначенияБезконтактныйПолуконтактныйНеобязательные характеристики
Наименование характеристики Вес образца
Значения≥ 10≥ 50≥ 250≥ 500≥ 1000< 10Наименование характеристики Длина образца
Значения≥ 10≥ 20≥ 30≥ 60≥ 90≥ 150≥ 200< 10Наименование характеристики Ширина образца
Значения≥ 10≥ 20≥ 30≥ 60≥ 90≥ 150≥ 200< 10Наименование характеристики Толщина образца
Значения≥ 3≥ 10≥ 20≥ 40< 3Наименование характеристики Диапазон сканирования XY, мкм
Значения90 × 9010 × 1015 × 1525 × 2550 × 50100 × 100Наименование характеристики Диапазон сканирования Z, мкм
Значения10812152530