КТРУ 26.60.12.122-00000069 (версия 1, архив) - Спектральный эллипсометр

• Обязательные характеристики

• Наименование характеристики Минимальное значение диапазона длин волн, нм

  Значения

  ≤ 100≤ 200≤ 300≤ 600

• Наименование характеристики Максимальное значение диапазона длин волн, нм

  Значения

  < 500≥ 500≥ 1000≥ 2000

• Необязательные характеристики

• Наименование характеристики Спектральное разрешение, нм

  Значения

  < 33

• Наименование характеристики Воспроизводимость, град

  Значения

  ≤ ± 0,01≤ ± 0,02

• Наименование характеристики Точность по толщине, нм

  Значения

  ≤ 0.01≤ 0.1

• Наименование характеристики Точность по показателю преломления, град

  Значения

  ≤ 0.001≤ 0.005

• Наименование характеристики Максимальный угол падения светового луча, град

  Значения

  < 70≥ 70≥ 90

• Наименование характеристики Минимальный угол падения светового луча, рад

  Значения

  ≤ 45≤ 60

• Наименование характеристики Интервал падения светового луча (шаг), град

  Значения

  ≤ 2.5≤ 5

• Наименование характеристики Максимальная толщина, мкм

  Значения

  < 5≥ 5≥ 15

• Наименование характеристики Минимальная толщина, нм

  Значения

  ≤ 0.1≤ 0.5> 0.5

• Наименование характеристики Диаметр светового луча

  Значения

  ≤ 1.5≤ 3

• Наименование характеристики Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм

  Значения

  200100

• Наименование характеристики Время измерения на одной длине волны

  Значения

  ≤ 1.5≤ 3≤ 5≤ 10> 10

Ограничения и запреты по 44-ФЗ, 223-ФЗ

Код КТРУ 26.60.12.122-00000069 в классификаторе

Официальные данные КТРУ